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無塵車間都有哪些分類:

文章出處:新聞資訊 責(zé)任編輯:東莞市力翔空調(diào)凈化工程有限公司 發(fā)表時間:2021-01-23
  

無塵車間都有哪些分類:

1、亂流式:

   空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無塵車間內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室,并由無塵車間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。

  2、層流式:

   層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng),此型式適用于潔凈室等級需求較高之環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種:

  (1)無塵車間水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。

  (2)無塵車間垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。

   3、復(fù)合式:

   復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。

  (1)無塵車間潔凈隧道:以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴充容易; B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

  (2)無塵車間潔凈管道:將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。

  (3)無塵車間并裝局部潔凈室:將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;即屬此類。

      (4)Class 1~100無塵車間對溫度,濕度,風(fēng)速的要求

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